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倔强与傲慢(4/4)

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昏睡欲醒的江静用尽力气虚弱地摇了摇头,拼命想要睁开眼睛,嘴里在小声地喊着:“教授,教授……”

“李教授,静静好像在找你!”

仇复连忙对着李教授喊。

李教授连忙凑过去,低下头,就听得半昏半醒间的江静一直在喊着自己,一边努力醒来,嘴里一边含糊不清地说着:

“李教授,小尺寸的标准CMOS制备工艺中,MOSFET的体内区域的掺杂浓度较高,表面区域低掺杂,其掺杂浓度对于TFET器件来说均过高,若完全基于标准CMOS工艺来集成,TFET器件会增大器件的泄漏电流,且对TFET导通特性会有影响……”

李教授先开始还没听清,等听到“表面区域低掺杂”时忍不住怔住了,听出这是她上次提交的项目书里的内容,不由自主地又靠近了点。

“另外,TFET器件由于存在明显的双极导通效应,极大限制了 TFET器件在集成电路上的应用。降低漏端掺杂浓度的办法可以抑制TFET的双极效应,实现互补TFET器件,但需在标准CMOS I工艺的基础上增加光刻掩膜版,增加了工艺复杂度和制作成本。”

她要做的项目,目的是为了降低成本和复杂性,自然不能出现与之相悖的结果。

“所以,这个项目不适合适用在小尺寸CMOS IC制备工艺上,我的结论是正确的……”

江静的头脑随着实验结论的呈现越来越清晰,终于完全睁开了眼睛。

她伸出手,用尽全力抓住了李教授的胳膊,满脸担忧。

“李教授,您快把我项目书上的指导意见撤了吧!”

听到女弟子在担心什么,李教授一下子愣在原地,而后……

——羞愧万分。

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